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随着现代微电子技术的发展,具有优越性能的薄膜材料,在航空、、生物等领域日益发挥重要作用,并得以广泛运用。对于这些薄膜材料的机械性能检测,由于传统压痕技术产生的压痕尺寸大 ,不能准确检测微小尺寸材料的机械性能。近几年发展起来的纳米压痕技术,测试精度达到纳米级,满足了科研者检测薄膜材料机械性能的需要。
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